《電機股》氣立加強產業應用 自動化展秀半導體、醫療等新品

氣立表示，「質量流量計」具備精密度0.3％，能夠測量空氣、氮氣、氫氣等多種氣體，特別適用於半導體、醫療設備及精密儀器檢測系統。同時，此產品相較於進口品牌，具有價格競爭力和快速交貨的優勢。

「超音波流量計」採非侵入式感應原理，夾管式設計可方便快速安裝且不需修改現有管路，減少設置成本及時間，可檢測各式流體並具備有快速響應及高精度特性，廣泛應用於半導體、PCB、醫療及化工產業的各類氣體和液體管路檢測。

「藥液閥」則具備耐酸鹼/耐藥性及抗腐蝕等特點，且相比傳統產品，壓力範圍提升1.7倍，應用更爲廣泛，半導體溼製程 （含先進封裝的研磨洗淨過程）、廠務使用管路、醫療與各式酸鹼流體使用場域皆可使用。

「潔淨室用無杆氣缸」爲氣立創新構造設計，可將排氣側廢氣循環使用作爲動力導引至端蓋真空產生氣將粉塵做真空導引排出至潔淨室真空管路，達到不污染潔淨室的功能；亦有防水刮塵之延長使用壽命的設計。

「平行開閉門閥」主要的功能爲製程腔體與搬送腔體間的門閥使用,作爲晶圓移載的通道門，具有價格和交貨速度的優勢。氣立將在展場設置晶圓片作業存放、閥門開閉之動態展示機，讓客戶直觀感受其性能。

「柔性夾爪系列」則是夾取部結構採無鋼性設計，選用耐藥性佳的柔性材料，可模擬人手指的柔軟性設計，進行包覆性夾取避免造成物件損傷，適合醫藥及食品等產業使用。

氣立表示，此次展會中，將透過展示多款創新產品，致力於爲客戶提供高性能、高可靠性的解決方案，助力各產業提升生產效能，亦有助提升公司營運動能。