《國際產業》美方攔腰殺出 ASML:已暫停部分DUV對中國出口
該總部位於荷蘭Veldhoven市的公司說,影響出貨的包括部分微影機系統。艾司摩爾說:「荷蘭政府最近撤銷了NXT:2050i和NXT:2100i微影系統在2023年出貨的出口許可證,影響到少數的中國客戶」。
據瞭解,美國在2023年10月17日公佈的新規定,主要是限制了部分DUV深紫外光微影設備的出口。而美方早在2019年限制了EUV設備的出口,現在進一步限制部分DUV設備的對中輸出。
艾司摩爾的微影系統,使用了雷測光來創造晶片的電路。
該公司還說,預計最新的撤銷或者美國的出口管制措施,不會對公司2023年財務前景產生重大影響。
中國在近年來一直是艾司摩爾第三大市場,僅次於臺灣和南韓。不過在2023年第三季,中國曾短暫躍居艾司摩爾第一大市場,佔公司總銷售額的46%,主要是中國半導體公司當時趕在管制生效之前,加速購入了艾司摩爾的DUV設備。
美國在2023年宣佈了新管制規定,限制了艾司摩爾的「Twinscan NXT1930Di」機器的出口,如果它包含任何美國的零組件。
很快的,數名荷蘭國會議員隨後對荷蘭貿易部提出質疑,認爲美國單方面規範了艾司摩爾製造機器對中國出口的規定,是否正確。
艾司摩爾在最新一份聲明中說:「最近在與美國政府的討論中,艾司摩爾獲得了美國出口管制法規範圍和影響的進一步澄清」,「艾司摩爾完全致力於遵守所有適用的法律和規定,包括我們營運所在國家(美國)的出口管制法規」。