傑宜斯申請半導體制造裝置及其控制方法專利,能控制半導體制造裝置
金融界2025年1月18日消息,國家知識產權局信息顯示,傑宜斯科技有限公司申請一項名爲“半導體制造裝置及其控制方法”的專利,公開號 CN 119314902 A,申請日期爲2024年7月。
專利摘要顯示,本發明多個實施例涉及半導體制造裝置,該半導體制造裝置可包括:多個杯部,用於回收工序期間噴射的化學物質;馬達驅動模塊,用於驅動馬達以調節所述杯部的上下位置;多個壓力閥,用於驅動氣缸以調節所述杯部的上下位置;以及處理器,用於控制所述馬達驅動模塊及所述壓力閥。
本文源自:金融界
作者:情報員
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