朗姆研究公司申請用於半導體 RF 等離子體處理的脈衝內的 RF 脈衝專利，產生 RF 波形

金融界 2024 年 11 月 28 日消息，國家知識產權局信息顯示，朗姆研究公司申請一項名爲“用於半導體 RF 等離子體處理的脈衝內的 RF 脈衝”的專利，公開號 CN 119030506 A，申請日期爲 2018 年 11 月。

專利摘要顯示，描述了一種用於產生射頻(RF)波形的系統和方法。該方法包括定義由不具有開關脈衝的關狀態分開的連串的開關脈衝。該方法進一步包括施加多電平脈衝波形，該多電平脈衝波形調整每個開關脈衝的幅值以產生 RF 波形。該方法包括將 RF 波形發送到電極。

本文源自：金融界

作者：情報員