三星電子：測試 TEL 新設備改進光刻工藝 7 月發佈

【消息稱三星電子測試 TEL 公司 AcreviaGCB 設備】

三星電子正在對 TokyoElectron的 AcreviaGCB 氣體團簇光束系統開展測試。TEL 的 AcreviaGCB 系統於今年 7 月發佈，能夠藉助氣體團簇光束對 EUV 光刻圖案進行局部精準整形，以此修復圖案缺陷、降低圖案粗糙度。